MMS-ZFA 2010精密零件/集成電路測量顯微鏡

MMS-ZFA 2010測量顯微鏡是我司獨立開發的，是具有裂像功能的一款新型顯微鏡。其以影像法測量原理為基礎，采用光學焦點位置檢測方式進行非接觸高低差測量。除了觀察測量點的表面狀態外，還能對高度、深度、高低差等進行精密測量。本儀器還具有明暗場，偏光的觀察功能，所以特別適合對極細微的間隙高低差、夾雜物、突起、細微劃痕進行觀察。

本產品適用于硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS激光加工、晶片測試、半導體材料、線束加工蝕刻、液晶電池蓋、導線框架等產品的檢查觀察。

也適用于幾何形狀的顯微觀測，并且有三維的計量功能。因此是精密零件，集成電路，半導體芯片，光伏電池，光學材料等行業的必備儀器。

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