AWL晶圓顯微檢查系統

兼具穩定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查。擁有AWL046、AWL068兩種機型，分別可適用于4/6英寸晶圓檢測，6/8英寸晶圓檢測，適應范圍廣、搭配靈活。可自由設置的檢查模式，充分符合人機工程學設計，操作舒適、簡便。
具有宏觀檢查手臂，可以實現晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查1的360°旋轉，更為容易發現傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面最大傾斜角度為70°，晶背1最大傾斜角度為90°，晶背2最大傾斜角度為160°，利用旋轉功能、傾斜角度，完全可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。
LCD顯示屏，可為操作者提供更直觀的實覺體驗，可清晰的顯示當前檢查項目及次序，調試參數一目了然。手動快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適度和工作效率。