技術參數
顯微鏡參數：
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序號 |
名稱 |
技術參數 |
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01 |
平場目鏡 |
高眼點大視野平場目鏡PL10X/22mm，視度可調 |
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02 |
金相物鏡 |
明暗場半復消金相物鏡5X，WD=13.5mm，NA=0.15 明暗場半復消金相物鏡10X，WD=9.0mm，NA=0.30 超長工作距明暗場半復消金相物鏡20X，WD=8.5mm，NA=0.4 無限遠長工作距明暗場半復消金相物鏡50X，WD=1.0mm NA=0.8 |
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03 |
總放大倍數 |
50X-500X |
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04 |
觀察頭 |
5°-35°傾角可調，正像，無限遠鉸鏈三通觀察頭，瞳距調節50-76mm，視度可調：±5屈光度，兩檔分光比：100/0或0/100 |
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06 |
調焦機構 |
反射機架，前置低手位粗微調同軸調焦機構，粗調每轉行程：33mm，微調精度：0.001mm，帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。 |
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07 |
移動平臺 |
8英寸三層機械移動平臺，低手位X\Y方向同軸調節，平臺面積525mmX330mm，移動范圍：210mmX210mm，帶離合器手柄，可用于全行程范圍內快速移動，玻璃載物臺 |
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08 |
偏光附件 |
檢偏鏡可360度旋轉，起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路 |
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09 |
攝像接口 |
0.5X攝像接口，C型接口 |
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10 |
微分干涉 |
DIC微分干涉組件 |
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11 |
照明系統 |
寬電壓100V~240V，12V100W鹵素燈落射光照明系統，帶視場光闌與孔徑光闌，中心可調。 |
產品簡介：
MX8R三目明暗場微分干涉工業檢測顯微鏡配置了落射與透射照明系統、明暗場半復消金相物鏡、內置偏光觀察裝置，具有圖像清晰、襯度好，造型美觀，操作方便等特點，配備了高性能DIC組件，可以將明場觀察下無法檢測的細微高低差，轉化為高對比度的明暗差并以立體浮雕新式表現出來，廣泛用于LCD導電粒子，精密磁盤表面劃痕檢測等領域
產品性能特點：
- 具有明場，暗場，偏光，DIC 觀察功能
- 采用8英寸大平臺設計，可適用于相應尺寸的晶圓或FPD檢測，電路封裝，電路基板，材料，鑄件金屬陶瓷部件，精密模具的檢測。